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压电陶瓷扫描管在纳米加工中的应用

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成果类型:
期刊论文
作者:
李志扬;刘武;钟小丽;李兴教
通讯作者:
Li, Zhiyang
作者机构:
[李志扬; 李兴教; 钟小丽; 刘武] Huazhong Normal Univ, Wuhan, China
通讯机构:
Huazhong Normal Univ, China
语种:
中文
关键词:
压电陶瓷管;扫描隧道显微镜;纳米加工
关键词(英文):
IC;piezoelectric tube scanner;scanning tunneling microscope;nano fabrication
期刊:
压电与声光
ISSN:
1004-2474
年:
1998
卷:
20
期:
1
页码:
25-27
基金类别:
国家自然科学基金 ; 武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室基金
机构署名:
本校为第一且通讯机构
院系归属:
物理科学与技术学院
摘要:
用一圆筒形压电陶瓷作三维微位移器,控制扫描隧道显微镜金属探针,利用场蒸发原理,实现了纳米加工。用Au、Cu和Ni等金属针尖在金表面制作了纳米尺寸的图案、汉字,其中组成这些图案和汉字的每个原子堆的直径约10~40nm。实验表现出非常好的可控性、重复性和稳定性。 null
摘要(英文):
Employing a piezoelectric tube scanner for the precise movement of a scanning tunneling microscope (STM) tip, nanometer scale structures have been fabricated by field evaporation. They included nanometer scale figures and Chinese characters which were made by using Au, Cu and Ni tips on a gold surface. The scheme of STM work principle was given. The x-y scan...

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