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一种基于CMOS的氟化液直接转换型X射线探测器

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成果类型:
专利
发明/设计人:
孙向明;刘世华;孙大明
申请/专利权人:
华中师范大学
专利类型:
发明
语种:
中文
申请时间:
2023.10.27
申请/专利号:
CN202311429916.4
公开时间:
2024.03.12
公开号:
CN117687065A
代理人:
王佩
机构署名:
本校为其他完成单位
摘要:
本发明提供了一种基于CMOS的氟化液直接转换型X射线探测器,具体包括:电路板、CMOS像素芯片、氟化液腔室、铍层;CMOS像素芯片安装在电路板上面,此CMOS像素芯片顶层是裸露电极在外面,没有封装,方便感应电荷。氟化液腔室用于存放氟化液的腔室,腔室安装在CMOS像素芯片上面,腔室四周可以是玻璃、陶瓷或者其他绝缘材料制作,腔室内充满氟化液,氟化液直接与CMOS像素芯片顶层的裸露电极接触。氟化液作为惰性液体,具有很好的X射线吸收能力,具有极低的暗电流,同时不存在脱膜的问题,化学稳定性好。氟化液腔室上面用铍层做密封,对X射线的屏蔽作用最小。本发明的有益效果是:解决了很多探测器脱...

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